An aligner is a major piece of equipment used in semiconductor device fabrication. Trending from upper left to lower right is the wafer-track system of a photolithographic cell that uses the "i-line" from a mercury arc lamp (wavelength 365 nm) to expose photoresist deposited on siliconwafers. Wafers are robotically loaded from a carrier at the left hand of the system and progressively are coated with photoresist, exposed to ultraviolet light, and "developed". The development step involves using a solvent to remove either the exposed (positive photoresist) or unexposed (negative photoresist) portions of the film. In the foreground is a black plastic box containing silicon wafers with a diameter of 6" (150 mm).
Photo taken at HP Labs by Alison Chaiken using a Nikon 995 camera. Note that the light in the room really is yellow!
Lisenssi
Voit kopioida, levittää ja/tai muuttaa tätä asiakirjaa GNU Free Documentation License -lisenssin version 1.2 tai minkä tahansa Free Software Foundationin julkaiseman myöhemmän version ehtojen alaisena; ei koske muuttumattomia kohtia, etukannen tekstejä eikä takakannen tekstejä. Kopio tästä lisenssistä on saatavilla osiossa GNU Free Documentation License.http://www.gnu.org/copyleft/fdl.htmlGFDLGNU Free Documentation Licensetruetrue
nimeäminen – Sinun on mainittava lähde asianmukaisesti, tarjottava linkki lisenssiin sekä merkittävä, mikäli olet tehnyt muutoksia. Voit tehdä yllä olevan millä tahansa kohtuullisella tavalla, mutta et siten, että annat ymmärtää lisenssinantajan suosittelevan sinua tai teoksen käyttöäsi.
jaa samoin – Jos muutat tai perustat tähän työhön, voit jakaa tuloksena syntyvää työtä vain tällä tai tämän kaltaisella lisenssillä.
Lisensointimerkintä lisätiin tähän tiedostoon osana GFDL-lisensointipäivitystä.http://creativecommons.org/licenses/by-sa/3.0/CC BY-SA 3.0Creative Commons Attribution-Share Alike 3.0truetrue
Kuvatekstit
Lisää yhden rivin pituinen kuvaus tästä tiedostosta
Tämä tiedosto sisältää esimerkiksi kuvanlukijan, digikameran tai kuvankäsittelyohjelman lisäämiä lisätietoja. Kaikki tiedot eivät enää välttämättä vastaa todellisuutta, jos kuvaa on muokattu sen alkuperäisen luonnin jälkeen.